プローブステーション (Probe Station)

• 機能: プローブステーションは、半導体ウェハー上のチップの電気的特性を測定するための装置です。微小なプローブをチップの接点に接触させ、電圧や電流の測定を行います。この装置は、製造過程における初期段階での欠陥検出や特性評価に使用されます。
• 主な用途: チップの電気的パラメータのテスト、回路の動作確認、故障解析。

2. エレクトロニクス・テストシステム (ATE: Automated Test Equipment)

• 機能: ATEは、半導体チップの機能テストを自動で行う装置です。複雑なテストシーケンスを実行し、チップの各機能が設計通りに動作するかを検証します。高いテストスループットを持ち、大量生産時の品質管理に不可欠です。
• 主な用途: デジタル、アナログ、混合信号ICの機能テスト、性能評価、生産ラインでの不良品検出。

3. オプティカルインスペクションシステム (Optical Inspection System)

• 機能: オプティカルインスペクションシステムは、光学顕微鏡やカメラを用いてウェハー上のパターンやチップの外観を検査します。欠陥や異常なパターンを自動で検出し、製造工程の品質を確保します。
• 主な用途: パターン欠陥の検出、異物混入の検出、製造プロセスのモニタリング。